>卡盤XY移動平臺(標準配置)
XY行程范圍 |
300 mm x300 mm (12"x12") |
XY最佳行程 |
300mm x 300 mm(滿足大范圍行程測試) |
移動精度/分辨率 |
< 1.0 μm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
平面性 |
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theta行程 |
粗調(diào):360° |
運動控制 |
氣控+無牙螺母控制 |
Z軸升降 |
快速升降:3mm |
微調(diào)升降:0-13mm,精度:≤2μm |
>針座平臺
材料 |
鋼鍍鎳 |
尺寸 |
見產(chǎn)品尺寸介紹第8頁 |
最大針座數(shù)量 |
8 DC and 4 RF(取于針座配置) |
卡盤到針座平臺下底面最佳距離 |
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Z-height運動范圍 |
Max.0-40mm (取于卡盤配置) |
Separation lift |
3段:分離(300μm),Load裝載(5mm),不間斷升降(0-40mm) |
接觸重復(fù)性 |
< ±1μm (0.08 mils) |
RF 針座固定 |
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DC 針座固定 |
磁力吸附/真空吸附 |