型號

M4

M6 mini

M6

外形（長*寬*高）

650*490*620mm

650*490*620mm

650*490*620mm

重量（KG）

約45kg

約47kg

約52kg

電力需求

220VC,50~60Hz

卡盤

常溫標準

卡盤尺寸

4"

6"

6"

樣品固定方式

環(huán)形真空吸附（可定制多孔吸附）

背電極測試功能

有/樣品臺電學獨立懸空

卡盤材質(zhì)

卡盤

移動平臺

X-Y行程

100*100mm

150*150mm

150*150mm

移動精度

10μm

Theta行程

360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；微調(diào)范圍±8°，微調(diào)精度0.002°

卡盤升降

N/A

卡盤快速拉出

N/A

控制方式

小型旋鈕驅(qū)動

針座平臺

平臺尺寸

長540mm*寬310mm

卡盤到平臺距離

8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）

針座數(shù)量

最多可放置6針座（DC×6/RF×4,DC×2)

針座平臺升降

N/A

針座定位方式

磁力吸附或真空吸附

光學特性

顯微鏡規(guī)格

標配體視顯微鏡（可選配視頻顯微鏡）

放大倍數(shù)

16~100X

CCD像素

3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字）

顯微鏡控制行程

顯微鏡調(diào)焦架控制可360度旋轉(zhuǎn)，Z軸：50.8mm

顯微鏡移動精度

N/A

鏡頭切換方式

N/A

點針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

機械精度

10μm/2μm/0.7μm

漏電精度

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口